parker超高纯束缚膜片减压阀

parker超高纯束缚膜片减压阀产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上先进的微型超高纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制，提高了MFC（质量流量控制器）的性能，这对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成，以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.

减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体，为阶跃函数流量需求变化提高出色响应。产品采用自动定心束缚膜片设计，提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹，这样大限度减少粒子生成和截留，进一步提高工艺清洁度和吹扫性能.

SMSQ2Micro接液部件由特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean™ 316L不锈钢。Vericlean™ 是派克公司的UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22®。这些材料与SMSQ2Micro系列设计特点相结合，使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命，入口压力高达250.

SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口，符合SEMI模块化接口规范.

SMSQ2Micro系列减压阀的内部（阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.

市场:
• 半导体
• 分析试验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业

特点和优势:
• 有C 和 W密封贴面安装1-1/8

parker超高纯束缚膜片减压阀性能特点

阀体材料

洁净316L不锈钢

压缩构件材料

洁净316L不锈钢

隔膜材料

哈氏合金 C-22

阀芯材料

哈氏合金 C-22

阀座材料

PCTFE

帽材料

铜镀镍

螺母材料

不锈钢

旋钮材料

ABS (蓝) (SMSQ2Micro)
ABS (黑) (SMSQ2Micro130E)

爆破压力

750 psig (52 barg)

可承受压力

375 psig (26 barg)

流速

Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)

内部泄漏率

< 5 x 10-8 cc/sec He

外部泄漏率

< 2 x 10-10 cc/sec He

体积

0.08 cm3

重量

0.9 lb
0.42 kg

表面处理

5微英寸粗糙度

大入口额定压力

250 psig / 17 barg

出口额定压力

-10 psig - 60 psig (260 torr - 4.1 barg)

高运行温度

66 °C
150 °F

低运行温度

-40 °C
-40 °F

更多产品详见：parker膜片减压阀