技术文章您现在的位置:首页 > 技术文章 > 巴鲁夫晶圆映射传感器技术讲解

巴鲁夫晶圆映射传感器技术讲解

发布时间:2020-06-19   点击次数:73次

晶圆映射传感器 – 在最狭隘的空间内保障高精度

可集成到末端执行器内,非常适合晶圆映射

为满足您的晶圆映射需求,巴鲁夫提供高精度光电传感器,可完美集成到末端执行器内。我们的映射传感器经过专门设计,适合极薄的末端执行器,传感器的光斑均匀且受控性和聚光性极好,因此,该传感器可识别甚至只有几微米厚度的晶圆,精度极高。该传感器能可靠识别整个卡槽,重叠的晶圆或歪斜的晶圆能始终得到识别。

映射传感器基于光电Micromote技术,它将一个极小的光学传感器头与外部处理单元(放大器)组合到一起,两者通过高柔性电缆连接。这意味着您可以将传感器应用于任何机械安装方式,与其他Micromote传感器一样。

特点

  • 传感器电缆非常紧凑、柔韧性高
  • 多功能传感器头
  • 使用BAE外部放大器,灵活性好,适用于各种应用

 

江苏聚鑫慧自动化有限公司

江苏聚鑫慧自动化有限公司

地址:淮安市金湖县金北街道办陈桥工业集中区298-10号

© 2020 版权所有:江苏聚鑫慧自动化有限公司(www.jsjxh03.com)  备案号:苏ICP备20027318号-1  总访问量:12642  站点地图  技术支持:化工仪器网  管理登陆

QQ在线客服
联系方式

18252327606

0517-86429912