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parker超净应用(UHP)-高压不锈钢隔膜阀

发布时间:2020-08-23   点击次数:81次

派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀提供优良的泄漏完整性,高循环寿命,及低的粒子生成,从真空应用到3500 psig压力范围可用.适用于超高压半导体应用,包括高压工艺线、气体控制柜和阀门分配箱系统

 

作为仪器仪表流体控制系统技术的行业先行者,派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀提供优良的泄漏完整性,高循环寿命,以及低的粒子生成,从真空应用到3500 psig压力范围可用。它适用于超高压半导体应用,包括高压工艺线、气体控制柜和阀门分配箱系统(VMBS)。

派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀可以选择手动或气动操作。这两个选项都是内部无弹簧和无螺纹设计,这使颗粒产生和捕获更小化,从而减少了过程污染。阀门的严格设计控制阀座和膜片的应力,提供稳定和免维护的使用寿命。该阀还具有压缩构件,其均匀地加载密封件,而不需要螺纹部件或压接操作。


945系列不锈钢隔膜阀沾湿组件由特殊金属制造,以提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀门本体是由Veriflo的的内部电解抛光316L不锈钢材质生产而成。膜片是一种高强度钴基合金。阀座材料可在PCTFE,PEEK™ 或Vespel® 这些选项中选择,这允许945系列用于广泛的危险和惰性工艺流体。这些材料,结合阀门严格的设计特点,在工作压力高达3500 psig时,具有很高的耐腐蚀性和优良的稳定性。气动选项可以配置为提供具有限位开关的开闭位置指示。

945个系列不锈钢隔膜阀门都是在100级洁净室制造的。内部(阀座)密封和金属外部密封是使用质谱仪氦气泄漏测试,以实现在要求UHP超高纯应用环境的使用性能和稳定性。

市场应用:
• 半导体生产
• 分析实验室
• 药物分析,生产
• 生物危害
• 航空航天
• 工业生产

特点/优势:
• 在管材上加工,这允许改进尺寸控制。
• 5微米(Ra)电抛光表面光洁度
• 高循环寿命(包括腐蚀性应用工况)
• 内部无弹簧和无螺纹设计使颗粒产生和气体捕获更小
• 全功能化设计从真空到300psig可用
• 内部泄漏率:小于1×10-9 SCC/SEC
• 外部泄漏率:小于2×10-10SCC/SEC
• 75 PSIG常开常关气动AOP执行压力(最大值)

典型应用:
• 腐蚀性和特殊性气体
• 半导体设备
• 半导体设备二次配管
• 气体控制柜
• 阀门分配箱系统(VMB)

Vespel® 是杜邦性能弹性体L.L.C的注册商标。
VeriClean™ 是派克汉尼汾公司的商标。
PEEK™ 聚醚醚酮是维克特斯PLC的商标。

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